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传感器元件
Abstract:
本发明提供能够同时测量多个压力的传感器元件。传感器元件(1)具备:第1压力与第2压力的差压测量用的膜片(42);第2压力的绝对压力测量用或者表压测量用的膜片(43);将第1压力传递至膜片(42)的第1压力导入通路(贯通孔(21、31、47、52)、槽(53)以及凹陷部(50));将第2压力传递至膜片(42、43)的第2压力导入通路(贯通孔(20、30、46)、槽(32、54)以及凹陷部(40、51));以及液量调整室(凹陷部(60)),其使封入于第1压力导入通路的压力传递介质的量与封入于第2压力导入通路的压力传递介质的量相同。
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