Invention Publication
CN112649141A 传感器元件
无效 - 撤回
- Patent Title: 传感器元件
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Application No.: CN202011061571.8Application Date: 2020-09-30
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Publication No.: CN112649141APublication Date: 2021-04-13
- Inventor: 德田智久 , 米田雅之 , 东条博史 , 津岛鲇美 , 木田希
- Applicant: 阿自倍尔株式会社
- Applicant Address: 日本东京都千代田区丸之内2丁目7番3号
- Assignee: 阿自倍尔株式会社
- Current Assignee: 阿自倍尔株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都千代田区丸之内2丁目7番3号
- Agency: 上海华诚知识产权代理有限公司
- Agent 肖华
- Priority: 2019-185770 20191009 JP
- Main IPC: G01L9/00
- IPC: G01L9/00 ; G01L13/02 ; G01L13/06 ; G01L19/04

Abstract:
本发明提供能够同时测量多个压力的传感器元件。传感器元件(1)具备:第1压力与第2压力的差压测量用的膜片(42);第2压力的绝对压力测量用或者表压测量用的膜片(43);将第1压力传递至膜片(42)的第1压力导入通路(贯通孔(21、31、47、52)、槽(53)以及凹陷部(50));将第2压力传递至膜片(42、43)的第2压力导入通路(贯通孔(20、30、46)、槽(32、54)以及凹陷部(40、51));以及液量调整室(凹陷部(60)),其使封入于第1压力导入通路的压力传递介质的量与封入于第2压力导入通路的压力传递介质的量相同。
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