本发明公开一种等离子体改性催化剂在脱除硫化氢、磷化氢、砷化氢中的用途，其是将含有硫化氢、磷化氢、砷化氢的气体通入装有等离子体改性催化剂的反应器中，在60~90℃下实现硫化氢、磷化氢、砷化氢的脱除；本发明利用低温等离子体放电使得MOFs产生更多不饱和金属活性位点与大量活性自由基，制得的等离子体改性催化剂应用在脱除硫化氢、磷化氢、砷化氢中，在较低温度下具有较好的脱除效果，可广泛用于各类气源中H2S、PH3、AsH3的同时脱除，本发明方法适用于工业化应用和市场推广。