- 专利标题: 差动共焦定面干涉靶丸外表面缺陷检测方法与装置
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申请号: CN202011386354.6申请日: 2020-12-01
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公开(公告)号: CN112666172A公开(公告)日: 2021-04-16
- 发明人: 赵维谦 , 杨帅 , 王允 , 邱丽荣
- 申请人: 北京理工大学
- 申请人地址: 北京市海淀区中关村南大街5号
- 专利权人: 北京理工大学
- 当前专利权人: 北京理工大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区中关村南大街5号
- 代理机构: 北京正阳理工知识产权代理事务所
- 代理商 张利萍
- 主分类号: G01N21/892
- IPC分类号: G01N21/892
摘要:
本发明涉及差动共焦定面干涉靶丸外表面缺陷检测方法及装置,属于光学成像与检测技术领域。该方法利用差动共焦光强响应曲线的过零点精确定位靶丸(被测面)和相机(探测面)的轴向位置,以此实现外表面准确、自动对焦成像;在干涉显微光路中采用短相干光源和球面参考镜产生外表面零位干涉图;然后利用移相干涉技术从外表面零位干涉图中测得外表面缺陷分布。本发明利用差动共焦技术的精确定位特性来为靶丸和相机的轴向位置装调提供了更为准确的调整判断依据,进而有效提高了传统干涉显微方法的外表面对焦、检测的精度和效率,并为自动化检测提供了必要技术保障。本发明为大批量靶丸的外表面缺陷高精度、高效率、自动化检测提供新的技术途径。
公开/授权文献
- CN112666172B 差动共焦定面干涉靶丸外表面缺陷检测方法与装置 公开/授权日:2022-02-11