- 专利标题： 一种采用集成电路构造的空心线圈和电磁检测探头
-
申请号： CN202011557091.0申请日： 2020-12-25
-
公开(公告)号： CN112683993B公开(公告)日： 2024-09-10
- 发明人: 邵文斌 , 崔洪岩 , 祁攀 , 廖述圣 , 罗玉文
- 申请人： 核动力运行研究所 , 中核武汉核电运行技术股份有限公司
- 申请人地址： 湖北省武汉市东湖新技术开发区民族大道1021号;
- 专利权人： 核动力运行研究所,中核武汉核电运行技术股份有限公司
- 当前专利权人： 核动力运行研究所,中核武汉核电运行技术股份有限公司
- 当前专利权人地址： 湖北省武汉市东湖新技术开发区民族大道1021号;
- 代理机构： 核工业专利中心
- 代理商 王洁
- 主分类号： G01N27/72
- IPC分类号： G01N27/72 ; G01N27/90 ; H01F27/28
摘要：
本发明具体涉及一种采用集成电路构造的空芯线圈，所述采用集成电路构造的空芯线圈包括晶圆基体和采用集成电路制作在所述芯片晶圆基体内的空芯线圈金属层。本发明提供的采用集成电路构造的空芯线圈，能够满足电磁及涡流检测领域，尤其是阵列检查技术对于空芯线圈的高密度、小尺寸、多线圈要求。
公开/授权文献
- CN112683993A 一种采用集成电路构造的空心线圈和电磁检测探头 公开/授权日：2021-04-20
