- 专利标题： 热固性保护膜形成用膜、保护膜形成用复合片、及芯片的制造方法
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申请号： CN201980059711.7申请日： 2019-11-20
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公开(公告)号： CN112703239A公开(公告)日： 2021-04-23
- 发明人: 古野健太 , 米山裕之 , 山本大辅
- 申请人： 琳得科株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 琳得科株式会社
- 当前专利权人： 琳得科株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 张晶; 谢顺星
- 优先权： 2018-219635 20181122 JP
- 国际申请： PCT/JP2019/045409 2019.11.20
- 国际公布： WO2020/105677 JA 2020.05.28
- 进入国家日期： 2021-03-10
- 主分类号： C09J175/04
- IPC分类号： C09J175/04 ; H01L21/301 ; C09J7/35
摘要：
本发明提供一种热固性保护膜形成用膜，其为热固性，并且在80℃以上130℃以下的温度范围的所有温度下，储能模量E’为2MPa以上。
公开/授权文献
- CN112703239B 热固性保护膜形成用膜、保护膜形成用复合片、及芯片的制造方法 公开/授权日：2022-10-04
IPC分类:
