一种基于模态局部化效应的可调加速度传感器
摘要:
本发明公开了一种基于模态局部化效应的可调加速度传感器,包括:第一固支梁两端分别通过第一固定端和第一质量块固定;第一质量块左端与第一铰接端相连;第一铰接端与第二固定端相连;第二固支梁置于第一固支梁左侧,其两端通过第二固定端和第二质量块固定;第二质量块右端与第二铰接端相连;第二铰接端与第一固定端相连;第一固支梁与第二固支梁之间通过静电耦合,耦合电源输出耦合电压加载在第二固支梁上,用于调整第一固支梁和第二固支梁之间的静电耦合强度;第一固支梁、第二固支梁分别通过第一固定激励电极、第二固定激励电极调节驱动力。本发明能够实现传感器灵敏度、探测范围和分辨率的在线调整,具有高灵敏度,鲁棒性强等优点。
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