- 专利标题: 一种基于模态局部化效应的可调加速度传感器
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申请号: CN202011460351.2申请日: 2020-12-11
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公开(公告)号: CN112710865B公开(公告)日: 2022-02-25
- 发明人: 吕明 , 赵剑 , 刘蓬勃 , 钟恒 , 宋嘉濠 , 孙荣健 , 郑显泽 , 唐英海
- 申请人: 大连理工大学
- 申请人地址: 辽宁省大连市高新园区凌工路2号
- 专利权人: 大连理工大学
- 当前专利权人: 大连理工大学
- 当前专利权人地址: 辽宁省大连市高新园区凌工路2号
- 代理机构: 大连东方专利代理有限责任公司
- 代理商 陈丽; 李洪福
- 主分类号: G01P15/00
- IPC分类号: G01P15/00
摘要:
本发明公开了一种基于模态局部化效应的可调加速度传感器,包括:第一固支梁两端分别通过第一固定端和第一质量块固定;第一质量块左端与第一铰接端相连;第一铰接端与第二固定端相连;第二固支梁置于第一固支梁左侧,其两端通过第二固定端和第二质量块固定;第二质量块右端与第二铰接端相连;第二铰接端与第一固定端相连;第一固支梁与第二固支梁之间通过静电耦合,耦合电源输出耦合电压加载在第二固支梁上,用于调整第一固支梁和第二固支梁之间的静电耦合强度;第一固支梁、第二固支梁分别通过第一固定激励电极、第二固定激励电极调节驱动力。本发明能够实现传感器灵敏度、探测范围和分辨率的在线调整,具有高灵敏度,鲁棒性强等优点。
公开/授权文献
- CN112710865A 一种基于模态局部化效应的可调加速度传感器 公开/授权日:2021-04-27