本发明公开了一种真空电扫超音速沉积喷枪，包括顺序设置的送粉装置、静电发生装置、拉瓦尔喷管、喷嘴以及偏转线圈，所述静电发生装置用于使送粉装置中送出的粉末粒子带电，所述拉瓦尔喷管中通入高压气体用于使带电粒子加速并使得加速后的粒子通过喷嘴喷出，所述偏转线圈设置于喷嘴出口端用于控制带电粒子束的喷射方向。本发明将该结构将喷涂粉末转化成带电粒子束，并通过偏转线圈为粒子束施加作用力改变粒子束的运动方向，实现对喷涂方向的精确控制，并提高涂层分布的可控性；该控制结构简单，对粒子束的控制简单且精确，控制精度高，扫描速度快。