本发明公开了一种缺陷的检测方法、装置和计算机可读存储介质。缺陷的检测方法，包括步骤：1）获取参考图像和待测样品的图像；2）获取所述待测样品的图像的一个测量单元的第一灰度均值；3）根据所述第一灰度均值补偿所述参考图像的灰度均值；4）将补偿后的所述参考图像与所述待测样品的图像的一个所述测量单元进行比较，确定所述测量单元的缺陷。上述缺陷的检测方法中，针对待测样品的图像的多个测量单元，用同一个参考图像进行检测时，可实时对参考图像进行灰度补偿，在检测速度几乎没有影响的情况下，可以检出对比度低的缺陷，同时降低误检漏检的机率。