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半导体存储器及其制造方法
摘要:
提供一种半导体存储器,其中不需要在SRAM的布线层之间的接触孔处的布图裕量,可减小在位线的布线电容,并可高速地进行存储处理。由一对驱动晶体管、一对转移晶体管、高电阻负载、一对位线、VCC线和GND线构成该SRAM。在第一层形成各晶体管的栅电极和字线,在第二层形成高电阻负载,在第三层形成VCC线和GND线,和第四层形成位线。连接高电阻负载与晶体管的源/漏区的共用接触孔不贯穿其它导电层。因此,不再需要在共用接触孔与其它导电层之间的布图裕量,并由此可减小单元尺寸。
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