Invention Grant
- Patent Title: 一种制备表面改性的氧化铈颗粒及含其的抛光液的方法
-
Application No.: CN202110003323.6Application Date: 2021-01-04
-
Publication No.: CN112778970BPublication Date: 2022-05-10
- Inventor: 王溯 , 蒋闯 , 马丽 , 寇浩东 , 孙涛 , 章玲然 , 张德贺 , 秦长春
- Applicant: 上海晖研材料科技有限公司
- Applicant Address: 上海市松江区思贤路3600号2幢4楼2409室
- Assignee: 上海晖研材料科技有限公司
- Current Assignee: 上海晖研材料科技有限公司
- Current Assignee Address: 上海市松江区思贤路3600号2幢4楼2409室
- Main IPC: C09K3/14
- IPC: C09K3/14 ; C09C1/00 ; C09C3/12 ; C09G1/02 ; H01L21/311
Abstract:
本发明公开了一种制备表面改性的氧化铈颗粒及含其的抛光液的方法。表面改性的氧化铈颗粒的制备方法包括如下步骤，在如式I所示的改性剂的作用下，将氧化铈进行改性，得表面改性的氧化铈颗粒。本发明制备方法制备得到的改性氧化铈颗粒能够作为抛光液的磨粒，其能选择性抛光氧化硅膜，且抛光后表面粗糙度小。
Public/Granted literature
- CN112778970A 一种制备表面改性的氧化铈颗粒及含其的抛光液的方法 Public/Granted day:2021-05-11
Information query
