一种增强电子铜箔导电性的电镀液、制备方法及电镀工艺
摘要:
本发明公开了一种增强电子铜箔导电性的电镀液、制备方法及电镀工艺,具有以下组分:以1‑乙基‑3‑甲基咪唑氯(EMIMCl)100~150份和无水乙醇(AE)63~95份的混合溶液作为溶剂,以无水处理的三氯化砷(AsCl3)1~6份、无水处理五氯化铌(NbCl5)2~9份、助溶剂10.3~20.8份、添加剂0.1~0.5份作为溶质。本发明通过在电子铜箔上电沉积一层NbAs合金膜层,增强电子铜箔的导电性,本发明制备的NbAs合金膜层与电子铜箔结合能力强,导电率和热导率高,化学稳定性好,且本发明工艺简单,不污染环境,能耗较小,可重复性高。
0/0