- 专利标题： 无源自供能用压电纳米线的制备方法及压电纳米线
-
申请号： CN202110004843.9申请日： 2021-01-04
-
公开(公告)号： CN112786777A公开(公告)日： 2021-05-11
- 发明人: 秘立鹏 , 孙睿 , 刁凤新 , 史昌明 , 佟敏 , 党乐 , 王磊磊 , 陈忠源
- 申请人： 国网内蒙古东部电力有限公司电力科学研究院 , 国网河南省电力公司电力科学研究院 , 国家电网有限公司
- 申请人地址： 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区绿地腾飞大厦B座1801房间; ;
- 专利权人： 国网内蒙古东部电力有限公司电力科学研究院,国网河南省电力公司电力科学研究院,国家电网有限公司
- 当前专利权人： 国网内蒙古东部电力有限公司电力科学研究院,国网河南省电力公司电力科学研究院,国家电网有限公司
- 当前专利权人地址： 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区绿地腾飞大厦B座1801房间; ;
- 代理机构： 济南圣达知识产权代理有限公司
- 代理商 张庆骞
- 主分类号： H01L41/113
- IPC分类号： H01L41/113 ; H01L41/18 ; H01L41/047 ; H01L41/29 ; H01L41/33 ; B82Y30/00
摘要：
本发明属于无源自供能领域，提供了一种无源自供能用压电纳米线的制备方法及压电纳米线。其中，无源自供能用压电纳米线的制备方法包括在基片上溅射ZnO纳米线生长的种子层；将ZnO纳米线生长溶液与种子层反应，在种子层上生长ZnO纳米线；反应结束后，清洗种子层及ZnO纳米线；采用等离子溅射工艺在ZnO纳米线的上层制备出压电层电极，最终得到无源自供能用压电纳米线。
公开/授权文献
- CN112786777B 无源自供能用压电纳米线的制备方法及压电纳米线 公开/授权日：2023-05-09