电化学加工装置及其方法
摘要:
本发明涉及一种电化学加工装置及其方法,包括模具板、光伏板、离子液、导线和光源,模具板与光伏板对应设置且能够相对移动,离子液可流动地填充于模具板与光伏板之间,光伏板包括P型半导体层和N型半导体层,当P型半导体层与离子液之间形成电连接时N型半导体层通过导线与模具板形成电连接,当N型半导体层与离子液之间形成电连接时P型半导体层通过导线与模具板形成电连接,光源设置于光伏板相对模具板的另一侧。本发明能够实现灵活、精确的选择性电沉积增材制造或选择性电解蚀刻,能够全面提升电化学沉积增材或电解蚀刻的精度、效率和控制的灵敏度。
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