发明公开
- 专利标题： 先进制程控制系统
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申请号： CN202010040246.7申请日： 2020-01-15
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公开(公告)号： CN112824975A公开(公告)日： 2021-05-21
- 发明人: 蔡秉男
- 申请人： 南亚科技股份有限公司
- 申请人地址： 中国台湾新北市泰山区南林路98号
- 专利权人： 南亚科技股份有限公司
- 当前专利权人： 南亚科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 中国台湾新北市泰山区南林路98号
- 代理机构： 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- 代理商 朱颖; 臧建明
- 优先权： 16/691,519 20191121 US
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20
摘要：
本发明提供一种先进制程控制系统，包括第一制程机台、第二制程机台及测量机台。第一制程机台用以在多个晶片上分别以多个第一光罩的其中之一进行处理，并且提供一第一制程时序性数据。第二制程机台用以分别对经过第一制程机台处理的晶片以多个第二光罩的其中之一进行处理，以提供多个工件。第二制程机台依据第一制程时序性数据提供测量触发信号。测量机台用以反应于测量触发信号决定是否执行各个工件的测量动作，并且对应地提供测量结果。
公开/授权文献
- CN112824975B 先进制程控制系统 公开/授权日：2022-09-13
IPC分类:
