发明授权
- 专利标题： 真空炉及石英玻璃制备方法
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申请号： CN202110068545.6申请日： 2021-01-19
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公开(公告)号： CN112830666B公开(公告)日： 2022-10-04
- 发明人: 薛钦 , 刘颖 , 王蒙非 , 汤明明 , 赵海伦 , 钱宜刚 , 沈一春 , 陈娅丽
- 申请人： 中天科技精密材料有限公司 , 江苏中天科技股份有限公司
- 申请人地址： 江苏省南通市开发区中天路3号;
- 专利权人： 中天科技精密材料有限公司,江苏中天科技股份有限公司
- 当前专利权人： 中天科技精密材料有限公司,江苏中天科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省南通市开发区中天路3号;
- 代理机构： 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司
- 代理商 徐丽
- 主分类号： C03B20/00
- IPC分类号： C03B20/00 ; C03B5/16
摘要：
一种石英玻璃制备方法，包括步骤：提供多个石英锭以及真空炉。将所述石英锭容置于所述容置槽内，以及通过所述真空发生装置将所述腔体内的空气抽出，使所述腔体具有一真空度。启动所述底板加热件，所述底板加热件以第一升温速率将所述底板升温至第一温度，以及启动所述侧板加热件，所述侧板加热件以第二升温速率将所述侧板升温至所述第一温度，所述第一升温速率大于所述第二升温速率。保温熔化所述石英锭，退火以获得石英玻璃，所述石英玻璃的光学均匀性
公开/授权文献
- CN112830666A 真空炉及石英玻璃制备方法 公开/授权日：2021-05-25
