本发明提供一种等速采样超低浓度颗粒物监测仪，包括：采样系统、温湿度预处理系统、控制系统以及测量和信号处理系统。采样系统主要由温压流测量子系统、采样探头、取样管、采样泵和回送回路组成。通过所述温压流测量子系统实时监测烟道流速，同步反馈给所述控制系统同时控制采样泵改变采样流量实现等速跟踪。所述温湿度预处理系统包括加热干燥装置，控温装置等。所述加热干燥装置通过加热干燥方式降低颗粒物含水量，避免水分对测量系统的造成干扰的影响。所述测量及信号处理单元包括激光器、测量室、光电转换器等。通过测量颗粒物的前向散射光，将颗粒物的浓度转化为电信号，再经过特定算法转换后输出。所述控制单元包括反吹清洁装置、校准装置。