发明授权
- 专利标题： 声表面波谐振器及其制造方法
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申请号： CN202011540661.5申请日： 2020-12-23
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公开(公告)号： CN112886941B公开(公告)日： 2022-04-26
- 发明人: 郑根林 , 张树民
- 申请人： 杭州左蓝微电子技术有限公司
- 申请人地址： 浙江省杭州市下城区绍兴路398号国投大厦1420室
- 专利权人： 杭州左蓝微电子技术有限公司
- 当前专利权人： 左蓝微（江苏）电子技术有限公司
- 当前专利权人地址： 213004 江苏省常州市天宁区创智路5号3号楼7层
- 代理机构： 杭州华鼎知识产权代理事务所
- 代理商 项军
- 主分类号： H03H9/25
- IPC分类号： H03H9/25 ; H03H3/08
摘要：
本发明公开了声表面波谐振器，包括压电基板以及位于所述压电基板表面上的叉指换能器，所述压电基板上具有凹陷部并设有用于填充所述凹陷部的减速层，所述减速层与所述叉指换能器的电极接触以降低在接触位置所在区域的声速；所述接触位置在非中心区域。本发明还公开了声表面波谐振器的制造方法。本发明可消减横向模式。
公开/授权文献
- CN112886941A 声表面波谐振器及其制造方法 公开/授权日：2021-06-01
