发明授权
- 专利标题: 一种三维存储器及其制备方法
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申请号: CN202110326987.6申请日: 2021-03-26
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公开(公告)号: CN112909005B公开(公告)日: 2022-12-27
- 发明人: 张中 , 张坤 , 周文犀
- 申请人: 长江存储科技有限责任公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
- 专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
- 代理机构: 北京英思普睿知识产权代理有限公司
- 代理商 刘莹; 聂国斌
- 主分类号: H01L27/11521
- IPC分类号: H01L27/11521 ; H01L27/11551
摘要:
一种三维存储器的制备方法,包括:在衬底上设置包括多个阶梯台阶的叠层结构;形成覆盖每个阶梯台阶顶面和侧壁的缓冲层;去除覆盖每个阶梯台阶侧壁的缓冲层,并在阶梯台阶上方形成介质层;以及去除栅极牺牲层,并去除每个阶梯台阶顶面的缓冲层;在去除栅极牺牲层所形成的空间内填充导电材料以形成栅极层;以及在去除缓冲层所形成的空间填充导电材料以形成浮动接触结构。一种三维存储器,包括:衬底;具有多个阶梯台阶的叠层结构;浮动接触结构,位于每个阶梯台阶的顶面,并通过将形成在阶梯台阶顶面的缓冲层置换为导电材料而形成;以及介质层,位于阶梯台阶和浮动接触结构上方,其中,浮动接触结构与上一阶梯台阶的侧壁之间由介质层间隔开。
公开/授权文献
- CN112909005A 一种三维存储器及其制备方法 公开/授权日:2021-06-04
IPC分类: