本发明涉及一种用于制备催化剂颗粒的方法，所述方法包括以下步骤：‑提供催化剂起始材料；‑提供离子束，‑提供选自UV光源、X射线源、电子束和电接地催化起始材料载体的静电电荷减少装置，‑向所述催化剂起始材料注入主要包含单电荷或单电荷和多电荷离子的离子束剂量，所述离子具有至少10keV至最多100keV的所述离子束中所述单电荷离子的能量；从而获得催化剂。本发明进一步涉及所获得的催化剂颗粒以及此类颗粒在NOx、CO和/或HC减排装置、燃料电池或化学反应、特别是石化反应的催化剂中的用途。