发明授权
- 专利标题： 一种真空鼓总成
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申请号： CN202110524721.2申请日： 2021-05-14
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公开(公告)号： CN112967960B公开(公告)日： 2021-08-10
- 发明人: 张德龙 , 孙斌 , 周亚棚 , 张喜华
- 申请人： 中科长光精拓智能装备(苏州)有限公司
- 申请人地址： 江苏省苏州市昆山市玉山镇新城南路515号10号厂房
- 专利权人： 中科长光精拓智能装备(苏州)有限公司
- 当前专利权人： 中科长光精拓智能装备(苏州)有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市昆山市玉山镇新城南路515号10号厂房
- 代理机构： 长春中科长光知识产权代理事务所
- 代理商 高一明; 郭婷
- 主分类号： H01L21/67
- IPC分类号： H01L21/67 ; H01L21/677 ; H01L21/683 ; H02K7/14
摘要：
本发明提供一种真空鼓总成，包括：真空鼓、密封装置；密封装置对真空鼓的非工作区域进行间隙密封。本发明采用间隙密封，大幅降低了对密封板和真空鼓材料的要求，提高了真空鼓的使用寿命；本发明采用非接触密封，大幅降低了密封板与真空鼓之间的摩擦力，从而降低了旋转电机功率的要求，减小了机构的功耗，也减小了机构体积；本发明的间隙的大小可调可控，从而保证最好的密封效率。
公开/授权文献
- CN112967960A 一种真空鼓总成 公开/授权日：2021-06-15
IPC分类:
