基于InAs/GaSb超晶格的中红外半导体可饱和吸收镜及其制备方法
摘要:
一种基于InAs/GaSb超晶格的中红外半导体可饱和吸收镜,包括:GaSb衬底;在该GaSb衬底的下表面镀有高透膜;InAs/GaSb超晶格,该InAs/GaSb超晶格具有特定的结构和厚度,制作在所述GaSb衬底上;反射膜,该反射膜制作在所述InAs/GaSb超晶格上;所述的反射膜由多对1/4波长厚度的ZnS和YbF3膜层构成,且所述的YbF3膜层与所述InAs/GaSb超晶格相接。本发明不仅具有宽带的中红外工作范围,且具有皮实、稳定可靠、参数可调等优良特性,为中红外超快锁模激光器的发展铺平了道路。
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