本公开提供了一种腐蚀性气体增压系统，属于气体增压技术领域。来自气体源接口的包含腐蚀性的气体被第一冷却装置冷却、脱水装置脱水，最后被第一增压装置增压最终提高气体的压力。第一冷却装置将来自气体源接口的气体冷却至第一阈值温度，第一阈值温度的气体进入脱水装置，脱水装置对气体脱水，使气体内的水含量减少，降低气体的露点。第一增压装置对气体加压至第一阈值压力，由于第一阈值温度低于当气体的压力为第一阈值压力时的露点，气体不会在第一增压装置内析出水。气体在进入第一增压装置被加压的过程中均不会析出水，避免了腐蚀性气体析出水腐蚀增压装置的情况出现，减小增压装置的制造成本并扩大了可选择的增压装置的机型范围。