微纳结构的耐高温法布里-珀罗腔传感结构及系统
摘要:
本申请涉及微纳结构的耐高温法布里‑珀罗腔传感结构及系统,具体而言,涉及传感器领域。本申请提供的微纳结构的耐高温法布里‑珀罗腔传感结构,结构包括:主体结构、第一体光栅、第二体光栅和光纤;柱体结构内部设置有孔洞,孔洞的两个相对的面设置有第一体光栅和第二体光栅,且主体结构的外部设置有光纤,由于温法布里‑珀罗腔两侧设置有第一体光栅和第二体光栅,该主体结构内的孔洞构成了法布里‑珀罗腔,当需要对待测信息进行测量时,将本申请的结构设置在待测环境中,当待测环境中的待测因素改变时,法布里‑珀罗腔内部的光束干涉谱线发生漂移,通过对光束干涉谱线的检测,并根据光束干涉谱线的变化与待测因素的对应关系,得到待测因素的量。
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