- 专利标题: 微纳结构的耐高温法布里-珀罗腔传感结构及系统
-
申请号: CN202110174070.9申请日: 2021-02-09
-
公开(公告)号: CN112985478A公开(公告)日: 2021-06-18
- 发明人: 郑永秋 , 田振男 , 薛晨阳 , 于永森 , 孙鹏 , 国旗 , 陈坤 , 陈晨 , 武丽云 , 陈佳敏 , 韩源
- 申请人: 中北大学 , 吉林大学
- 申请人地址: 山西省太原市学院路3号;
- 专利权人: 中北大学,吉林大学
- 当前专利权人: 中北大学,吉林大学
- 当前专利权人地址: 山西省太原市学院路3号;
- 代理机构: 重庆萃智邦成专利代理事务所
- 代理商 蒋雪琴
- 主分类号: G01D5/353
- IPC分类号: G01D5/353 ; G01D21/02
摘要:
本申请涉及微纳结构的耐高温法布里‑珀罗腔传感结构及系统,具体而言,涉及传感器领域。本申请提供的微纳结构的耐高温法布里‑珀罗腔传感结构,结构包括:主体结构、第一体光栅、第二体光栅和光纤;柱体结构内部设置有孔洞,孔洞的两个相对的面设置有第一体光栅和第二体光栅,且主体结构的外部设置有光纤,由于温法布里‑珀罗腔两侧设置有第一体光栅和第二体光栅,该主体结构内的孔洞构成了法布里‑珀罗腔,当需要对待测信息进行测量时,将本申请的结构设置在待测环境中,当待测环境中的待测因素改变时,法布里‑珀罗腔内部的光束干涉谱线发生漂移,通过对光束干涉谱线的检测,并根据光束干涉谱线的变化与待测因素的对应关系,得到待测因素的量。
公开/授权文献
- CN112985478B 微纳结构的耐高温法布里-珀罗腔传感结构及系统 公开/授权日:2022-04-26
IPC分类: