一种高温度均匀性面源黑体控温结构
摘要:
本发明公开了一种高温度均匀性面源黑体控温结构。本发明面源黑体结构采用黑体和温控冷板一体化设计,黑体内部设计有两相工质流道,流道内两相工质直接作用于黑体,消除了温控冷板与黑体间的接触热阻,有效减小了两相工质与黑体间的换热温差,增强了两相工质对于黑体表面的温度调节能力。两相工质流道由多条平行微型槽道并联组成,均匀分布在黑体内部,使得两相工质在黑体内部均匀分配,两相工质在黑体内部发生流动沸腾,换热系数较单相回路高一个数量级,温度控制能力强,且控温范围大、稳定性好、精度高。同时,采用嵌入接触式测温测量黑体表面温度,避免环境干扰,测温精度高。
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