一种SF6废气介质阻挡放电处理装置
摘要:
一种SF6废气介质阻挡放电处理装置,主要包括加热区域、单层介质阻挡放电区域。加热管放置在筒体两侧置于加热反应区。介质阻挡放电区域内放置有金属电极。六氟化硫(SF6)气体首先通过第一级加热区域进行反应前加热,再经过第二级单介质阻挡放电区进行等离子体降解SF6气体,最后通过收集装置对残留的SF6气体进行收集。本发明对低温等离子体技术和热解法技术进行了创新性的藕合,不但可以提高SF6气体的去除率,同时降低了二次污染。
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