本发明提供了一种氮化硅复合配方粉的制备方法、由该制备方法制备的氮化硅复合配方粉及其制备装置。所述制备方法包括以下步骤：步骤1，将四氯化硅、稀释剂、烧结助剂加入反应釜中混合形成均匀混合浆料；步骤2，向反应釜缓慢通入氨气进行反应，直到浆料中固相的浓度达到第一浓度为止；步骤3，将反应所得浆料输送至固液分离装置进行固液分离；以及步骤4，将分离后的固相转入烧结炉中进行分解煅烧，获得氮化硅复合配方粉。本发明的制备方法无需细化研磨，减少了杂质引入。