发明授权
- 专利标题： 一种Parylene F型气相沉积方法
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申请号： CN202110246284.2申请日： 2021-03-05
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公开(公告)号： CN113025960B公开(公告)日： 2022-07-19
- 发明人: 刘佳男 , 王燕 , 黄洪文
- 申请人： 贵州航天林泉电机有限公司
- 申请人地址： 贵州省贵阳市观山湖区长岭南路89号
- 专利权人： 贵州航天林泉电机有限公司
- 当前专利权人： 贵州航天林泉电机有限公司
- 当前专利权人地址： 贵州省贵阳市观山湖区长岭南路89号
- 代理机构： 贵州派腾知识产权代理有限公司
- 代理商 谷庆红
- 主分类号： C23C14/12
- IPC分类号： C23C14/12 ; C23C14/24
摘要：
本发明属于Parylene F型气相沉积技术领域，具体涉及一种Parylene F型气相沉积方法；通过对蒸发工艺和裂解工艺的优化改进，Parylene F型此种较难沉积的原料也可获得较快的蒸发速率，膜层成分纯净性能优异，且未对国内普遍的Parylene气相沉积设备做出改动，在保证膜层性能的前提下大幅提升了加工效率。同时由于蒸发速率稳定，可以通过控制工艺时间的方式控制最终膜层的厚度，降低了膜厚控制难度，反应更加可控。
公开/授权文献
- CN113025960A 一种Parylene F型气相沉积方法 公开/授权日：2021-06-25
IPC分类:
