发明授权
- 专利标题： 一种介稳态控制制备金刚石的方法
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申请号： CN202110574749.7申请日： 2021-05-26
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公开(公告)号： CN113026001B公开(公告)日： 2021-08-17
- 发明人: 王涛 , 魏远征 , 张雪梅 , 吴剑波 , 朱长征 , 徐念 , 龚闯 , 王箫
- 申请人： 苏州香榭轩表面工程技术咨询有限公司 , 上海征世科技股份有限公司
- 申请人地址： 江苏省苏州市吴中区郭巷街道尹丰路39号1幢4层408室;
- 专利权人： 苏州香榭轩表面工程技术咨询有限公司,上海征世科技股份有限公司
- 当前专利权人： 苏州香榭轩表面工程技术咨询有限公司,上海征世科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市吴中区郭巷街道尹丰路39号1幢4层408室;
- 代理机构： 苏州创元专利商标事务所有限公司
- 代理商 汪青; 向亚兰
- 主分类号： C23C16/52
- IPC分类号： C23C16/52 ; C23C16/27 ; C23C16/50 ; C23C16/46
摘要：
本发明公开了一种介稳态控制制备金刚石的方法，该方法采用等离子体化学气相沉积法，在沉积台上进行沉积形成金刚石；其中，该制备方法包括设置温度控制系统，以及利用温度控制系统控制沉积过程中沉积台下方的温度自上而下按照设定的梯度递减，以及使得沉积台在沿沉积面延伸方向上的温度的变化低于5摄氏度；本发明方法通过对金刚石沉积过程尤其是沉积界面能量的精准控制，实现了金刚石的定向、定型且高质量的稳定生长。
公开/授权文献
- CN113026001B8 一种介稳态控制制备金刚石的方法 公开/授权日：2021-09-14
IPC分类:
