- 专利标题: 一种用于磁阻器件的激光编程写入装置及方法
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申请号: CN202110247124.X申请日: 2021-03-05
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公开(公告)号: CN113029208A公开(公告)日: 2021-06-25
- 发明人: 詹姆斯·G·迪克 , 周志敏
- 申请人: 江苏多维科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市张家港市保税区广东路7号E栋
- 专利权人: 江苏多维科技有限公司
- 当前专利权人: 江苏多维科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市张家港市保税区广东路7号E栋
- 代理机构: 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 孟金喆
- 主分类号: G01D5/16
- IPC分类号: G01D5/16
摘要:
本发明实施例公开了一种用于磁阻器件的激光编程写入装置及方法,该装置包括:依次层叠设置的衬底、磁阻传感器和热控制层,磁阻传感器与热控制层之间设置有用于电隔离的非磁性绝缘层,磁阻传感器由磁阻传感单元构成,磁阻传感单元为具有反铁磁层的多层薄膜堆叠结构;激光编程写入装置用于在激光编程写入阶段,改变热控制层和/或磁阻传感器的膜层参数,以调节磁阻传感器的温度随激光功率的变化率,并增加或减小同一激光功率写入磁阻传感器的温度,膜层参数包括膜层材料和膜层厚度中的至少一种。本发明实施例,实现了磁阻传感器的高精度激光写编程,改善磁阻传感器的制造缺陷,提高了磁阻传感器的性能,进而改善磁阻传感器的检测精度。
公开/授权文献
- CN113029208B 一种用于磁阻器件的激光编程写入装置及方法 公开/授权日:2022-10-21