一种带电粒子束设备，包括带电粒子源、高压隧道管、聚焦磁镜组和复合透镜组，其中，所述高压隧道管用于将所述带电粒子源产生的带电粒子束加速；所述聚焦磁镜组和所述复合透镜组在所述高压隧道管的外周沿带电粒子束前进方向依次设置，所述聚焦磁镜组用于将带电粒子束聚焦，所述复合透镜组用于将电子束聚焦在样品上。采用本发明的带电粒子束设备，低落地能量的电子在高压隧道管中也有较快的速度，可以降低电子的相互作用，消除色差，提高低电压模式下的分辨率。