一种基于含高浓度硼纳米硅浆的高效电池及制作方法
摘要:
本发明公开一种基于含高浓度硼纳米硅浆的高效电池的制作方法,包括:S1,取硅片,清洗制绒,在硅片正面设定SE区域,并在所述SE区域印刷含磷纳米硅浆;S2,在POCl3氛围中进行磷扩散,在SE区域形成磷重摻区域,得到磷硅玻璃;S3,去除磷硅玻璃,进行背面刻蚀,在硅片正面沉积减反膜,在硅片背面沉积钝化膜;S4,在硅片背面的钝化膜上印刷高浓度硼纳米硅浆,再用激光扫描,以实现定域掺硼;S5,在硅片背面印刷铝浆,在硅片正面的所述SE结构上印刷银浆;S6,进行烧结,形成电池。本发明还公开一种采用上述方法制作的高效电池。本发明通过形成SE结构和进行局部定域掺硼,降低烧结温度,从而有效实现电池效率的提升。
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