一种仿生纤毛结构的多信息柔性触觉传感器及其制备方法
摘要:
本发明提供了一种仿生纤毛结构的多信息柔性触觉传感器及其制备方法,传感器包括相互结合作用的纤毛阵列传感单元和压电薄膜传感单元,纤毛阵列传感单元包括12个以矩形阵列形式置于公共基质层上的纤毛传感器,纤毛传感器包括从内至外同轴设置的内电极、压电传感层、屏蔽层以及护套保护层;压电薄膜传感单元从上至下为上电极层、压电薄膜层、凸点层、下电极层和保护层;外置多通道信号调理电路,对于纤毛传感器和压电薄膜传感器输出信号进行预处理,经过模数转换后对数字信号进行深度分析,实现对物体表面特性信息的检测功能;本发明可有效区分法向压力以及横向剪切力,准确辨识触觉与滑觉信息,灵敏度高、稳定性好、抗干扰能力强。
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