Invention Publication
- Patent Title: 差压计
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Application No.: CN202011415463.6Application Date: 2020-12-07
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Publication No.: CN113063542APublication Date: 2021-07-02
- Inventor: 东条博史 , 德田智久 , 木田希
- Applicant: 阿自倍尔株式会社
- Applicant Address: 日本东京都千代田区丸之内2丁目7番3号
- Assignee: 阿自倍尔株式会社
- Current Assignee: 阿自倍尔株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都千代田区丸之内2丁目7番3号
- Agency: 上海华诚知识产权代理有限公司
- Agent 肖华
- Priority: 2019-224263 20191212 JP
- Main IPC: G01L13/02
- IPC: G01L13/02

Abstract:
本发明抑制差压计的S/N比的降低。本发明的差压计具备基台(101)、配置在基台(101)的上表面的第一部件(102)、配置在第一部件(102)上的第二部件(103)、以及配置在第一部件(101)与第二部件(103)之间的膜片层(104)。在形成于第二部件(103)的第二压力室(106)中,在受压部(107)侧的第一区域(121)与第一贯通孔(109)侧的第二区域(122)之间,与第二压力室(106)的内壁之间具备间隙地设置有壁(108)。
Public/Granted literature
- CN113063542B 差压计 Public/Granted day:2023-01-13
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