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差压计
Abstract:
本发明抑制差压计的S/N比的降低。本发明的差压计具备基台(101)、配置在基台(101)的上表面的第一部件(102)、配置在第一部件(102)上的第二部件(103)、以及配置在第一部件(101)与第二部件(103)之间的膜片层(104)。在形成于第二部件(103)的第二压力室(106)中,在受压部(107)侧的第一区域(121)与第一贯通孔(109)侧的第二区域(122)之间,与第二压力室(106)的内壁之间具备间隙地设置有壁(108)。
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