本发明涉及了一种功率半导体器件的结温提取方法，通过仿真软件搭建双脉冲实验电路，以SiC MOSFET为例，选其作为开关管，测量功率器件漏源电压vds的电压尖峰和功率半导体的结温，分析发现引起电压尖峰的原因包括跨导系数、门极阈值电压以及栅漏电容，而这些影响因素同样受到结温影响，通过仿真实验得到结温和关断电压尖峰存在着负的对应关系。该方法对开关管两端的电压波动有着很好的屏蔽作用，只需通过测量漏源电压vds的尖峰即可得到结温大小，该方法测量过程相较于其他结温提取方法读数更容易，精确度更高。