发明公开
- 专利标题： 一种电子级气体的吸附脱水剂及其制备方法
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申请号： CN202010016921.2申请日： 2020-01-08
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公开(公告)号： CN113083223A公开(公告)日： 2021-07-09
- 发明人: 刘家旭 , 陆安慧 , 陈绍云 , 贺宁 , 郭洪臣
- 申请人： 大连理工大学
- 申请人地址： 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- 专利权人： 大连理工大学
- 当前专利权人： 大连理工大学
- 当前专利权人地址： 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- 代理机构： 大连格智知识产权代理有限公司
- 代理商 刘琦
- 主分类号： B01J20/18
- IPC分类号： B01J20/18 ; B01D53/26 ; B01J20/30 ; C01B39/38 ; C01B39/24 ; C01B39/26 ; C01B39/02
摘要：
本发明提供一种电子级气体的吸附脱水剂及其制备方法，吸附脱水剂，包括离子改性纳米沸石分子筛，以重量份数计，所述离子改性纳米沸石分子筛包括以下组分：1‑10份金属阳离子，90‑99份纳米沸石分子筛载体。所述离子改性纳米沸石分子筛为离子交换改性纳米沸石分子筛或浸渍改性纳米沸石分子筛。当被用于制备电子级高纯HBr或HF气体时，HBr或HF粗气体经气化后进入气固吸附床与吸附脱水剂连续接触脱除水。经吸附处理后的HBr或HF气体中H2O含量由30ppm降低至
公开/授权文献
- CN113083223B 一种电子级气体的吸附脱水剂及其制备方法 公开/授权日：2022-08-19
