发明公开
- 专利标题: 一种基于TM0模吸收的超导纳米线单光子探测器及探测方法
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申请号: CN202110472031.7申请日: 2021-04-29
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公开(公告)号: CN113093334A公开(公告)日: 2021-07-09
- 发明人: 李杨 , 陶略 , 赵瑛璇 , 黄海阳 , 甘甫烷
- 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海光华专利事务所
- 代理商 余明伟
- 主分类号: G02B6/14
- IPC分类号: G02B6/14 ; G02B6/126 ; G02B6/10 ; G01J1/44 ; G01J1/42
摘要:
本发明提供一种基于TM0模吸收的超导纳米线单光子探测器及探测方法,包括:定向耦合器,用于实现TE0模式至TE1模式的转换;偏振旋转器,与所述定向耦合器连接,用于实现TE1模式至TM0模式的转换;纳米线单光子探测器,与所述偏振旋转器连接,用于实现对TM0模式的吸收及探测。本发明的基于TM0模吸收的超导纳米线单光子探测器结构简单,是在SOI结构的基础上实现TE0模至TM0模的高效转换,并由纳米线单光子探测器快速吸收并探测,不仅极大地缩短了纳米线所需长度,从而降低了纳米线制作所要求的工艺条件,还保护器件避免被刻蚀剂破坏,使得器件工作性能稳定。