发明公开
- 专利标题: 一种基于超材料的可调谐太赫兹探测器
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申请号: CN202110316984.4申请日: 2021-03-23
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公开(公告)号: CN113108902A公开(公告)日: 2021-07-13
- 发明人: 涂学凑 , 邵智豪 , 陈健 , 苏润丰 , 贾小氢 , 赵清源 , 张蜡宝 , 康琳 , 吴培亨
- 申请人: 南京大学
- 申请人地址: 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号
- 专利权人: 南京大学
- 当前专利权人: 南京大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号
- 代理机构: 南京理工大学专利中心
- 代理商 封睿
- 主分类号: G01J1/42
- IPC分类号: G01J1/42
摘要:
本发明公开了一种基于超材料的可调谐太赫兹探测器,包括第一硅基衬底和第二硅基衬底,所述第一硅基衬底的正面设置天线耦合的六氮五铌薄膜微测热辐射计,背面沉积金层;所述第二硅基衬底背面设置周期排布的口字型超材料阵列,与第一硅基衬底正面相对形成空气腔,通过调节空气腔的长度,实现太赫兹探测器谐振频率的调节。本发明使用超材料,通过仿真设计可以实现特定频率的谐振特性,通过改变空气腔间隔可以调节太赫兹探测器的谐振频率,并且结构简单,制备方便。
公开/授权文献
- CN113108902B 一种基于超材料的可调谐太赫兹探测器 公开/授权日:2022-06-21