一种掩膜版及三重图案化的方法，所述掩膜版包括第一、第二和第三掩膜版；第一掩膜版包括第一矩形窗口图形；所述第二掩膜版包括第二矩形窗口图形；所述第三掩膜版包括第三非矩形窗口图形；所述第一矩形窗口、第二矩形窗口和第三矩形窗口图形拼接构成预设的目标非矩形窗口；所述目标非矩形窗口用于定义衬底表面待刻蚀去除鳍部的区域。上述的方案，可以避免光刻过程中L形拐角处的圆角化(corner rounding)现象影响到鳍部的预定非矩形图案的实际尺寸，故可以提高后续形成器件的性能。