一种大功率肖特基二极管
摘要:
本发明系提供一种大功率肖特基二极管,包括N型衬底,N型衬底下设有阴极金属层,阴极金属层围绕有第一绝缘保护环;N型衬底上设有N型外延层,N型外延层的顶部设有P型保护环,N型外延层的顶部中间设有若干等间隔设置的凹陷槽,相邻两个凹陷槽之间的距离为1.2~1.8μm,P型保护环所围绕的N型外延层上覆盖有肖特基势垒层,肖特基势垒层的顶部覆盖有阳极金属层;P型保护环的顶部设有钝化保护环,P型保护环上还覆盖有环形的功函数金属层,阳极金属层还覆盖于功函数金属层上;第一绝缘保护环外固定有散热陶瓷套。本发明能够有效增大可通过的电流,能够提高它们运作的针对性效果,能够显著提高反向击穿电压,结构紧凑牢固。
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