一种背接触式太阳能电池及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种背接触式太阳能电池及其制备方法,所述制备方法包括以下步骤:S1、在硅片的背面形成交替设置的n+掺杂层和n++掺杂层;S2、在n+掺杂层和n++掺杂层上形成掩膜层;S3、去除部分的掩膜层和n+掺杂层,以形成第一开孔;S4、除去掩膜层,并对电池片半成品的背面进行制绒;S5、对电池片进行退火,并在电池片的正面依次形成Al2O3层和SiNx层;S6、在电池片的背面形成SiNx钝化膜;S7、对第一开孔内的SiNx钝化膜进行刻蚀,形成刻蚀至硅片的开槽;S8、形成N型电极和P型电极。本发明的制备方法工艺简单,成本低。
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