发明授权
- 专利标题: 一种背接触式太阳能电池及其制备方法
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申请号: CN202110251502.1申请日: 2021-03-08
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公开(公告)号: CN113130702B公开(公告)日: 2022-06-24
- 发明人: 邵家骏 , 陈刚
- 申请人: 浙江爱旭太阳能科技有限公司 , 广东爱旭科技有限公司 , 天津爱旭太阳能科技有限公司
- 申请人地址: 浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号; ;
- 专利权人: 浙江爱旭太阳能科技有限公司,广东爱旭科技有限公司,天津爱旭太阳能科技有限公司
- 当前专利权人: 浙江爱旭太阳能科技有限公司,广东爱旭科技有限公司天津爱旭太阳能科技有限公司珠海富山爱旭太阳能科技有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号; ;
- 代理机构: 广州三环专利商标代理有限公司
- 代理商 李素兰; 何键云
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; H01L31/0216 ; H01L31/0236 ; H01L31/0352
摘要:
本发明公开了一种背接触式太阳能电池及其制备方法,所述制备方法包括以下步骤:S1、在硅片的背面形成交替设置的n+掺杂层和n++掺杂层;S2、在n+掺杂层和n++掺杂层上形成掩膜层;S3、去除部分的掩膜层和n+掺杂层,以形成第一开孔;S4、除去掩膜层,并对电池片半成品的背面进行制绒;S5、对电池片进行退火,并在电池片的正面依次形成Al2O3层和SiNx层;S6、在电池片的背面形成SiNx钝化膜;S7、对第一开孔内的SiNx钝化膜进行刻蚀,形成刻蚀至硅片的开槽;S8、形成N型电极和P型电极。本发明的制备方法工艺简单,成本低。
公开/授权文献
- CN113130702A 一种背接触式太阳能电池及其制备方法 公开/授权日:2021-07-16
IPC分类: