本发明公开了一种固态微波功率合成驱动模块，包括有高速开关、相位调整模块、多级驱动模块、可调衰减模块、末级驱动模块，各个模块依次相连，采用模块一体集成设计。高速开关采用两级或多级串联的方式来提高开关隔离度。相位调整模块在一定调整电压范围内，可以实现0‑360°的相位调整。多级驱动模块的串联，可以有效降低幅度受相位变化的影响，N级驱动功放的输出幅度变化可以控制在±0.2dB以内；之后串联一个或多个可调衰减模块，可以进一步实现提高隔离度、增大衰减度的效果。在每一级串联之前，要先串联一组π形电阻，这样可以进一步减小整个电路的驻波，提高每一级模块之间隔离度。