发明公开
- 专利标题： 一种烧结体、靶材及其制备方法
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申请号： CN202110591753.4申请日： 2021-05-28
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公开(公告)号： CN113149614A公开(公告)日： 2021-07-23
- 发明人: 尹丙伟 , 肖俊峰 , 孙俊 , 周华明 , 李岩 , 石刚
- 申请人： 通威太阳能(合肥)有限公司
- 申请人地址： 安徽省合肥市高新区长宁大道888号
- 专利权人： 通威太阳能(合肥)有限公司
- 当前专利权人： 通威太阳能(合肥)有限公司
- 当前专利权人地址： 安徽省合肥市高新区长宁大道888号
- 代理机构： 安徽知问律师事务所
- 代理商 王泽洋
- 主分类号： C04B35/01
- IPC分类号： C04B35/01 ; C04B35/453 ; C04B35/457 ; C04B35/622 ; C04B35/64 ; C23C14/34
摘要：
本发明公开了一种烧结体及靶材，其组成包括该烧结体及靶材由ITO基材及分布在该ITO基材内的高熔点氧化物固溶体组成；本发明同时还提供了该烧结体及靶材的制备方法，包括烧制工序，该烧制工序是将含有氧化物固溶体或氧化物固溶体对应氢氧化物的ITO混合粉体进行共烧，共烧后制备得到烧结体，对烧结体进行塑性加工，形成ITO靶材。本发明所提供的烧结体、靶材以及通过本发明制备方法制备的烧结体及靶材能够有效抑制烧结体及靶材发生裂纹的现象。
