一种电镀用钛阳极及其制备方法
摘要:
本发明属于电镀技术领域,公开了一种电镀用钛阳极及其制备方法。该电镀用钛阳极,包括钛基体和在钛基体上依次形成的中间层和表面层,中间层包含Ru、Ir和Ti的氧化物;表面层包含Ta、Nb、Sn、Zr、Ti或Sb的氧化物中的至少一种;中间层和表面层的厚度比为(5‑15):1。本发明提供的电镀用钛阳极能够同时耐析氯、析氧环境的腐蚀,且能有效提高钛阳极的析氯、析氧电位,减少电镀过程氧气和氯气的析出,避免电镀添加剂过快的消耗,有利于维护镀液稳定,减小电镀成本。
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