本发明公布了非全控型半导体器件反向恢复电流高精度测试装置及方法，其包括电容器Cm、电感元件Lm、被测非全控型半导体器件、二极管、第1半导体器件T1、第2半导体器件T2和高精度同轴电阻。电容器Cm和电感元件Lm串联构成LC串联支路；被测非全控型半导体器件与二极管组成被测非全控型半导体器件支路；第1半导体器件T1和高精度同轴电阻串联构成反向电流测试支路，第2半导体器件T2构成正向导通支路，该装置采用双支路结构，既满足器件测试对正向电流峰值的要求，又可以实现对反向恢复电流的精准测试。