- 专利标题： 激光装置的波长控制方法和电子器件的制造方法
-
申请号： CN201980079753.7申请日： 2019-01-29
-
公开(公告)号： CN113169510B公开(公告)日： 2023-11-10
- 发明人: 山中琢磨 , 宫本浩孝
- 申请人： 极光先进雷射株式会社
- 申请人地址： 日本栃木县
- 专利权人： 极光先进雷射株式会社
- 当前专利权人： 极光先进雷射株式会社
- 当前专利权人地址： 日本栃木县
- 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 于英慧; 崔成哲
- 国际申请： PCT/JP2019/003041 2019.01.29
- 国际公布： WO2020/157839 JA 2020.08.06
- 进入国家日期： 2021-06-02
- 主分类号： H01S3/137
- IPC分类号： H01S3/137
摘要：
激光装置的波长控制方法包含以下步骤：依次取得脉冲激光的目标波长数据；依次保存目标波长数据；依次计测脉冲激光的波长而取得计测波长；以及使用计测波长和取得了计测波长的时刻之前的时刻的目标波长数据计算波长偏差，使用波长偏差对脉冲激光的波长进行反馈控制。
公开/授权文献
- CN113169510A 激光装置的波长控制方法和电子器件的制造方法 公开/授权日：2021-07-23