发明授权
- 专利标题: 一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法
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申请号: CN202110316947.3申请日: 2021-03-19
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公开(公告)号: CN113176278B公开(公告)日: 2022-07-22
- 发明人: 王绍凯 , 黄运 , 蒋荷洁 , 谭久彬
- 申请人: 哈工大机器人(中山)无人装备与人工智能研究院
- 申请人地址: 广东省中山市翠亨新区哈工大机器人集团智能装备产业园(三个五厂房D栋)
- 专利权人: 哈工大机器人(中山)无人装备与人工智能研究院
- 当前专利权人: 哈工大机器人(中山)无人装备与人工智能研究院
- 当前专利权人地址: 广东省中山市翠亨新区哈工大机器人集团智能装备产业园(三个五厂房D栋)
- 代理机构: 北京隆源天恒知识产权代理有限公司
- 代理商 段守富
- 主分类号: G01N21/95
- IPC分类号: G01N21/95 ; G01N21/01
摘要:
本发明提供了一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法,涉及面板缺陷检测技术领域,该设备包括承载机构、龙门、初扫组件和复扫组件,所述龙门横跨设于所述承载机构上并与所述承载机构具有一定间隙,所述初扫组件和所述复扫组件分别设于同一个所述龙门上。通过将初扫组件和复扫组件设于同一个龙门上,从而使初扫组件与复扫组件之间的距离缩小,进而可降低待检测板面板的运动行程,从而降低了单个面板检测所用的时间,提高面板缺陷扫描的效率;另外,由于初扫组件和复扫组件设于同一个龙门上,因此,统一了初扫基准面与复扫基准面,消除了因基准面不一致产生的转换误差,提高了整机精度。
公开/授权文献
- CN113176278A 一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法 公开/授权日:2021-07-27