一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法
摘要:
本发明提供了一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法,涉及面板缺陷检测技术领域,该设备包括承载机构、龙门、初扫组件和复扫组件,所述龙门横跨设于所述承载机构上并与所述承载机构具有一定间隙,所述初扫组件和所述复扫组件分别设于同一个所述龙门上。通过将初扫组件和复扫组件设于同一个龙门上,从而使初扫组件与复扫组件之间的距离缩小,进而可降低待检测板面板的运动行程,从而降低了单个面板检测所用的时间,提高面板缺陷扫描的效率;另外,由于初扫组件和复扫组件设于同一个龙门上,因此,统一了初扫基准面与复扫基准面,消除了因基准面不一致产生的转换误差,提高了整机精度。
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