本发明公开了一种基于等离子体技术的混合气体处理设备，该设备包括SF6降解主机与电源部分，主机包括密集组装在一起的混合气体箱、等离子体放电矩阵及尾气收集箱；所述混合气体箱底部装有纯净水，在混合气体箱内待降解气体与稀释气体和水蒸气混合形成混合气；所述等离子体放电矩阵一端与混合气体箱相连，用于对混合气进行等离子体降解处理；所述尾气收集箱与等离子体放电矩阵另一端相连，尾气收集箱内装有碱性吸收液，用于对降解处理后的气体进行洗涤后通过排气管排出。本发明将待降解气体SF6与稀释气体混合的混气装置和放电降解后尾气的洗涤收集装置，集成到了放电矩阵前后，形成了整个装置的主要部分，小巧便携，能够在多种场合使用。