本发明提供一种锗烷收集纯化设备，包括第一储气罐、冷凝器和纯化器，第一储气罐一侧设有预处理装置，且第一储气罐的排气口通过管道与预处理装置连通，预处理装置一侧设有冷凝器，预处理装置通过管道与冷凝器的进气口连通，冷凝器一侧设有纯化器，且冷凝器的排气口通过管道与纯化器的进气口连通，纯化器一侧设有第二储气罐，且纯化器的排气口通过管道与第二储气罐的进气口连通，预处理装置一侧设有储液箱，且储液箱的进液口通过管道与预处理装置连通。本发明通过在纯化之前，加入预处理装置，对锗烷气体进行初步过滤净化，可大大提高对锗烷气体中二氧化碳及酸性气体的去除效果，提高纯化器的纯化效果，对锗烷气体的提纯效果更好。