发明授权
- 专利标题: 一种压力辅助蒸发转移石墨烯的方法
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申请号: CN202110518910.9申请日: 2021-05-12
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公开(公告)号: CN113184835B公开(公告)日: 2022-08-12
- 发明人: 李雪松 , 张坤 , 沈长青 , 青芳竹
- 申请人: 电子科技大学
- 申请人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 代理机构: 北京正华智诚专利代理事务所
- 代理商 李林合
- 主分类号: C01B32/186
- IPC分类号: C01B32/186 ; C01B32/194
摘要:
本发明提供了一种压力辅助蒸发转移石墨烯的方法,依次包括以下步骤:(1)在铜箔上生长石墨烯;(2)将生长了石墨烯的铜箔的正面盖在石英片上,并在铜箔上加盖一层石英片,形成“石英‑铜箔‑石英”的三明治结构;(3)将样品放入低压的充满混合气体的管式炉中,在50‑70min升温至1050℃,然后在8‑12min升温至1085℃,保持2‑4min,最后经8‑12min降温至1050℃,关闭管式炉,冷却至室温后取出样品,完成石墨烯转移。本发明在转移过程中避免胶的使用,有效解决了现有技术中必须使用胶和石墨烯上胶残留等问题。
公开/授权文献
- CN113184835A 一种压力辅助蒸发转移石墨烯的方法 公开/授权日:2021-07-30