本发明公开了精密光学装置厂房地基筏板地脉动响应的分析方法，涉及隔振地基设计分析领域，包括S1待测地址钻孔并取样；S2岩土样本开展模态试验；S3建立岩土样本有限元模型，结合模态试验识别岩土样本的弹性模量与泊松比；S4安装深井传感器，获得地脉动载荷时域信号，分析获得地脉动加速度功率谱密度曲线；S5建立动力学有限元模型，在底部施加地脉动加速度功率谱密度曲线；S6开展地基动力学有限元模型模态分析和基础随机振动响应分析；S7根据动力学有限元模型确定加速度响应功率谱密度；通过对地基筏板地脉动响应的分析评估，在设计阶段获得可靠的厂房筏板上的地脉动响应，提高精密仪器装置稳定性分析评估可靠性，降低精密仪器的研发风险。